Mae'r tri hyn yn cyfeirio at y prosesau gweithgynhyrchu ar gyfer Is-haenau Ceramig Metelaidd (MCC), a ddefnyddir yn eang mewn rheolaeth thermol ac integreiddio cylchedau modiwlau megis laserau pŵer uchel, lidar, a chyfathrebu optegol.
Yr heriau craidd wrth brosesu laser y tri deunydd hyn yw:
1. Prosesu Laser o Is-haenau DBC
Heriau: Thick copper layer is requiring high energy penetration; copper's reflectivity >95%, yn hawdd niweidio dyfeisiau optegol; Mae Al₂O₃ yn frau, yn dueddol o naddu wrth dorri.
Ateb a Argymhellir: Drilio troellog + sganiau lluosog: Er mwyn osgoi egni pwls sengl gormodol gan achosi cracio ceramig; amddiffyniad nitrogen: atal ocsidiad copr a duo.
Cymwysiadau Nodweddiadol: torri amlinell swbstrad modiwl IGBT, slotio terfynell pŵer.
2. Prosesu Laser o Is-haenau AMB
Heriau: Mae cerameg Si₃N₄ yn hynod o galed ac anodd ei dorri; yn cynnwys haen sodr, yn hawdd yn toddi ac yn gorlifo; swbstrad gwerth uchel, ni chaniateir unrhyw ficrograciau.
Ateb a Argymhellir: laser tra chyflym picosecond/femtosecond (355 nm neu 515 nm): abladiad oer, gan osgoi -sodro tawdd poeth; egni pwls sengl isel + cyfradd ailadrodd uchel: rheolaeth fanwl gywir ar fewnbwn gwres; rheolaeth ffocws manwl gywir o fewn yr haen gopr: osgoi difrod. Si₃N₄
Cymwysiadau Nodweddiadol: Torri swbstrad modiwl SiC ar gyfer cerbydau ynni newydd
3. prosesu laser swbstrad DPC
Heriau: Haen gopr hynod denau, wedi'i llosgi'n hawdd drwyddi neu wedi'i gordorri; cylchedwaith mân, sy'n gofyn am gywirdeb lleoli uchel; straen thermol yn hawdd yn arwain at delamination
Atebion a Argymhellir: nanosecond UV isel-pŵer: Yn tynnu copr yn union heb niweidio'r cerameg; Galfanomedr cydraniad uchel + aliniad gweledol: Yn cyd-fynd â chylchedwaith presennol; Tynnu -pwls sengl: Yn cyflawni "torri copr yn unig, heb niweidio'r swbstrad"
Cymwysiadau Nodweddiadol: 5G milimedr-tynnu copr antena tonnau, tocio cylched chwiliwr meddygol
Ni argymhellir defnyddio un peiriant i brosesu'r tri math o offer. Gall Yclaser ddatblygu atebion wedi'u haddasu yn seiliedig ar anghenion cwsmeriaid.Mae croeso i ymholiadau!
